ノボラックレジストの画像形成機能実験セミナー
４月５日、４月６日のリソテックジャパン株式会社様のセミナーは、満員御礼で終了いたしました。ありがとうございました。
尚、今回セミナーで使用したテキストを１セット５，２５０円でご提供しております。ご希望の方は、こちらからお申し込みください。入金確認後パスワードをお知らせします。
◆セミナーテキスト_ノボラック解析
◆実習テキスト_シミュレーション
※右クリックで「ファイルに保存」を選択してご利用ください。
■セミナー題目：
「ノボラックレジストの画像形成機能を目で見てみよう！」
■セミナーの趣旨：
微細加工用フォトレジストはKrF、ArFエキシマレーザー露光に代表される化学増幅レジストに移りつつあります。しかし、LCD分野などでは微細化に伴い、ノボラックレジストが使われるケースも増えてきました。そこで、改めてノボラックレジストの画像形成のメカニズムを肉眼で確かめてみたい！というセミナーを企画しました。
レジストプロセスを担当する研究者、エンジニア方で、入社１〜3年目くらいまでのビギナーを対象に開催いたします。
ノボラックレジスト画像形成機能実験セミナーアンケート結果
■Ｎ社 Ｋ・Ｉさん
≪セミナーの内容≫
実際の実験、Ｓｉｍを体験でき、非常に有意義なセミナーであった。
≪日常業務で困っていること≫
実際に実験する機会があまりないため(営業担当のため)、
リソの実物に触れることが少ない。
■Ｆ社 Ｙ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
日頃の業務で知りえなかった内容を知ることが出来た。
しかし自分の知識のなさから、質問したくても出来ない部分があった。
≪日常業務で困っていること≫
レジストを販売しているが、リソグラフィ工程、全ての知識が
必要なところ。
■Ｂ社 Ｋ・Ｋさん
≪セミナーの内容≫
実作業で通じた内容で分かりやすく、非常に興味深い内容でした。
≪日常業務で困っていること≫
レジスト形状の面内均一性。
■Ａ社 Ｓ・Ａさん
≪セミナーの内容≫
講義は勉強になった。実験はＦＴ−ＦＲは説得力があったが、
ピンと来ない部分も少々あった。
■Ｒ社 Ｋ・Ｆさん
≪セミナーの内容≫
レジストの講義だけでなく実習も兼ねたセミナーだったので、
理解し易かった。特に現像シュミレーションは初めて見たので
勉強になった。
■Ｎ社 Ｏ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
化学変化を実感できる内容で良かった。
またパラメータが与えるパターン形状への影響がイメージ
できたのが良かった。
≪日常業務で困っていること≫
形状シュミレーションを想像に頼っているところがあり、
条件(各パラメータ)が与えるパターン形状への影響があまり
理解できていない所。
■Ｇ社 Ｓ・Ａさん
≪セミナーの内容≫
シュミレーションについての知識を深めることが出来た。
■Ｆ社 Ｔ・Ｓさん
≪セミナーの内容≫
具体的に目で見ることが出来たので分かり易かった。
計算式と評価結果が一貫していたので理解し易かった。
≪日常業務で困っていること≫
トレードオフの仕様を、ユーザから依頼されること。