フォトリソグラフィー材料の技術動向講座セミナーアンケート
Ｔ社 Ｇ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
実習の内容と講義の内容をもう少しＬＩＮＫしてもらいたかった。
Ｎ社 Ｈ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
実習でＢＡＲＣ有り、無しの有用性を目視で確認できたが、ＳＥＭを利用してパターンの定材波の様子を見れれば良かったと思います。ただしシミュレーションでは、ＢＡＲＣの膜厚と反射率しか会社で測定したことがなかったので、それ以外の測定方法を知れたことは非常に為になりました。
Ｔ社 Ｉ・Ｈさん
≪セミナーの内容≫
基本的なフォトレジストの説明、実習、そして最後のシミュレーションへの流れが、レジスト初心者でも非常に丁寧、かつ分かり易いと思いまが、ある程度の経験者だと少し物足りないかも･･･｡非常に有意義でした。セミナー開設誠にありがとうございました。
Ｓ社 Ｎ・Ｔさん
≪セミナーの内容≫
今の私にレベルがあっていた。原理的な内容が多かった。シミュレーションの講義が盛り込んであった。自分の知識の正しさ、誤りを再確認できた。再び仕事に対するモチベーションが上がる良い機会となった。講義、実験共にご丁寧でした。他のメンバーにも受講を薦めたいと思います。お弁当、コーヒーとも美味しく頂きました。
Ｈ社 Ｎ・Ｉさん
≪セミナーの内容≫
レジスト、リソの基本的な話を聞けてよかった。が、こちらの勉強不足の為、いまいち理解に苦しんだ。全く問うい分野（エッチング装置）なので、レジスト＆ＢＡＲＣに関しては、ブラックボックスだったので、勉強できて助かりました。
Ａ社 Ｈ・Ｈさん
≪セミナーの内容≫
リソグラフィーの基礎の部分から最先端の話まで聞けてよかった。
Ａ社 Ｋ・Ｙさん
≪セミナーの内容≫
シミュレーションの内容を確認できたことが参考になりました。
Ｋ社 Ｓ・Ｍさん
≪セミナーの内容≫
リソグラフィーの歴史、現在に至るまでの背景、また現状の問題点が実感できました。実習することで、ウェーハの取り扱い方法、注意点等について参考になるところが多々ありました。
Ａ社 Ｔ・Ｓさん
≪セミナーの内容≫
リソグラフィー材料の技術動向について、大変詳しくお話しして頂けたのが良かったと思います。また最先端の技術動向についてもお話が聞けて、大変良かったと思います。