ノボラックレジストの画像形成機能実験セミナー
４月５日、４月６日のリソテックジャパン株式会社様のセミナーは、満員御礼で終了いたしました。ありがとうございました。
尚、今回セミナーで使用したテキストを１セット５，２５０円でご提供しております。ご希望の方は、こちらからお申し込みください。入金確認後パスワードをお知らせします。
◆セミナーテキスト_ノボラック解析
◆実習テキスト_シミュレーション
※右クリックで「ファイルに保存」を選択してご利用ください。
■セミナー題目：
「ノボラックレジストの画像形成機能を目で見てみよう！」
■セミナーの趣旨：
微細加工用フォトレジストはKrF、ArFエキシマレーザー露光に代表される化学増幅レジストに移りつつあります。しかし、LCD分野などでは微細化に伴い、ノボラックレジストが使われるケースも増えてきました。そこで、改めてノボラックレジストの画像形成のメカニズムを肉眼で確かめてみたい！というセミナーを企画しました。
レジストプロセスを担当する研究者、エンジニア方で、入社１～3年目くらいまでのビギナーを対象に開催いたします。
■セミナーの内容：
10:00～12:00 講義「ノボラックレジストの画像形成のメカニズム」
12:00～13:00 昼食
13:00～14:00 ブリーチング反応を目で見てみよう！
（ABCパラメータ測定）の実習
14:00～15:00 感光剤の分解を目で見てみよう！
（FT-IRによる感光剤の分解の様子を観察）の実習
15:00～15:15 コーヒーブレイク
15:15～16:15 現像反応を目で見てみよう！
（現像速度測定装置（RDA）による現像反応の測定）の実習
16:15～17:15 画像形成メカニズムのシミュレーション実習
■日程：
4月5日（木）、4月6日（金）
同じ内容のセミナーを行います。
どちらかの日をお申し込みください。<
1日5名限定（定員になり次第締め切ります。）
■講師略歴：
関口 淳先生
82年芝浦工業大学 応用化学科卒。日本ケミテックにて化学分析に従事。住友GCAにて現像解析装置の研究開発に従事。93年リソテックジャパン㈱設立に参加。現在、取締役執行役員 プロセス開発グループ長。 02年東京電機大学にて工学博士取得。
■セミナー会場：
リソテックジャパン(株)本社
＜住所＞ 埼玉県川口市並木2-6-6-201
TEL.048-258-6775
＜最寄り駅＞ JR京浜東北線『西川口』駅下車。東口から徒歩5分。
＜詳細＞ＭＡＰ
※セミナー当日は、西川口駅に９：４０に集合しセミナー案内係が会場まで
ご案内します。
■セミナー参加費用：
31,500円/一人（税込）
テキスト、昼食、コーヒーブレイク含む
■お申し込み先
◎4月5日終了
◎4月6日終了
※個人情報保護規定
■利用目的
お客様からご提供いただきました個人情報は、セミナー申込み内容のご確認、申込み後の関連書類の発送、当セミナー受講当日に関する情報としてのみ利用致します。
■開示・提供
お客様からご提供いただきました個人情報は、法律上提供しなければならない場合を除き、第三者に提供することはいたしません。
■保護・管理
お客様からご提供いただきました個人情報は、必要以上に保存せず、厳格に管理し、不正アクセス、盗聴、改ざん、漏洩、紛失等のリスクから個人情報を保護するため、可能な技術的保護措置を講じます。