ノボラックレジスト画像形成機能実験セミナーアンケート結果
■Ｎ社 Ｋ・Ｉさん
≪セミナーの内容≫
実際の実験、Ｓｉｍを体験でき、非常に有意義なセミナーであった。
≪日常業務で困っていること≫
実際に実験する機会があまりないため(営業担当のため)、
リソの実物に触れることが少ない。
■Ｆ社 Ｙ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
日頃の業務で知りえなかった内容を知ることが出来た。
しかし自分の知識のなさから、質問したくても出来ない部分があった。
≪日常業務で困っていること≫
レジストを販売しているが、リソグラフィ工程、全ての知識が
必要なところ。
■Ｂ社 Ｋ・Ｋさん
≪セミナーの内容≫
実作業で通じた内容で分かりやすく、非常に興味深い内容でした。
≪日常業務で困っていること≫
レジスト形状の面内均一性。
■Ａ社 Ｓ・Ａさん
≪セミナーの内容≫
講義は勉強になった。実験はＦＴ−ＦＲは説得力があったが、
ピンと来ない部分も少々あった。
■Ｒ社 Ｋ・Ｆさん
≪セミナーの内容≫
レジストの講義だけでなく実習も兼ねたセミナーだったので、
理解し易かった。特に現像シュミレーションは初めて見たので
勉強になった。
■Ｎ社 Ｏ・Ｎさん
≪セミナーの内容≫
化学変化を実感できる内容で良かった。
またパラメータが与えるパターン形状への影響がイメージ
できたのが良かった。
≪日常業務で困っていること≫
形状シュミレーションを想像に頼っているところがあり、
条件(各パラメータ)が与えるパターン形状への影響があまり
理解できていない所。
■Ｇ社 Ｓ・Ａさん
≪セミナーの内容≫
シュミレーションについての知識を深めることが出来た。
■Ｆ社 Ｔ・Ｓさん
≪セミナーの内容≫
具体的に目で見ることが出来たので分かり易かった。
計算式と評価結果が一貫していたので理解し易かった。
≪日常業務で困っていること≫
トレードオフの仕様を、ユーザから依頼されること。